Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі
Способ плазменного травления в хлороуглеродной плазме METHOD FOR PLASMA ETCHING IN CHLOROCARBON PLASMA |
|
| Creator |
Кравченко, Юрій Степанович
Кравченко, Сергій Юрійович Кравченко, Юрий Степанович Кравченко, Сергей Юрьевич Kravchenko, Yurii Stepanovych Kravchenko, Serhii Yuriiovych |
|
| Subject |
H01L 21/306
хлоровуглецева плазма спосіб плазмового травлення електронна техніка рельєф напівпровідникових структур |
|
| Description |
Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту.
Способ плазменного травления в хлоруглеродной плазме, при котором травление проводят в плазме, получаемой высокочастотным электромагнитным полем в реакционной камере при пониженном давлении газа и смеси основного газа-реагента. A method for plasma etching in chlorocarbon plasma is proposed. The method comprises performing etching in plasma produced by a high-frequency electromagnetic field in a reaction chamber with low gas pressure and a mixture of the main gas-reagent. |
|
| Date |
2015-01-17T11:12:07Z
2015-01-17T11:12:07Z 2013-04-25 |
|
| Type |
Other
|
|
| Identifier |
79431
Пат. 79431 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі [Текст] / Ю. С. Кравченко, С. Ю. Кравченко (Україна). - № u201211051 ; заявл. 24.09.2012 ; опубл. 25.04.2013, Бюл. № 8. - 4 с. : кресл. http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/172 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
|
|