Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
|
|
| Creator |
Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
|
|
| Date |
2013-12-29T22:19:03Z
2013-12-29T22:19:03Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52330 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|