Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
|
|
| Creator |
Шангереева, Б.А.
|
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками.
|
|
| Date |
2013-12-30T23:17:00Z
2013-12-30T23:17:00Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем / Б.А. Шангереева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 54-56. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52394 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|