Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
|
|
| Creator |
Воронин, В.А.
Губа, С.К. Курило, И.В. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Исследованы технологические условия формирования перенасыщенной паровой фазы при низкотемпературной газотранспортной эпитаксии для выращивания гетеро- и наноструктур на основе соединений In1-xGax As, GaAs1-xPx.
|
|
| Date |
2014-01-03T23:10:53Z
2014-01-03T23:10:53Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V / В.А. Воронин, С.К. Губа, И.В. Курило // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 36-40. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52486 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|