Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
|
|
| Creator |
Босый, В.И.
Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем.
|
|
| Date |
2014-01-03T23:22:38Z
2014-01-03T23:22:38Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52490 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|