Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
|
|
| Creator |
Кулинич, О.А.
Смынтына, В.А. Глауберман, М.А. Чемересюк, Г.Г. Яцунский, И.Р. |
|
| Subject |
Материалы электроники
|
|
| Description |
Показано, каким образом дефекты исходного кремния влияют на структурные изменения поверхности и приповерхностной области в процессе высокотемпературного окисления.
|
|
| Date |
2014-01-03T23:28:21Z
2014-01-03T23:28:21Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния / О.А. Кулинич, В.А. Смынтына, М.А. Глауберман, Г.Г. Чемересюк, И.Р. Яцунский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 62-64. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52492 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|