Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
|
|
| Creator |
Дружинин, А.A.
Голота, В.И. Когут, И.Т. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии.
|
|
| Date |
2014-01-08T19:03:41Z
2014-01-08T19:03:41Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров / А.A. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 50-53. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52878 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|