Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
|
|
| Creator |
Белоусов, И.В.
|
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем.
|
|
| Date |
2014-01-08T19:05:55Z
2014-01-08T19:05:55Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52879 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|