Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
|
|
| Creator |
Воронин, В.А.
Губа, С.К. Сиверс, В.Н. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.
|
|
| Date |
2014-01-10T00:26:54Z
2014-01-10T00:26:54Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52920 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|