Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
|
|
| Creator |
Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.
|
|
| Date |
2014-01-25T12:48:43Z
2014-01-25T12:48:43Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53629 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|