Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe
|
|
| Creator |
Пазуха, Ірина Михайлівна
Проценко, Іван Юхимович Пазуха, Ирина Михайловна Pazukha, Iryna Mykhailivna Проценко, Иван Ефимович Protsenko, Ivan Yukhymovych |
|
| Subject |
датчик тиску
датчик давления pressductor багатошарова плівкова система многослойная пленочная система multi-layered pellicle system аналіз процесів дифузії анализ процессов диффузии analysis of processes of diffusion |
|
| Description |
Запропонований чутливий елемент датчика тиску, який формується на основі багатошарової плівкової системи на основі шарів Cr і Cu або Fe. Наведені результати досліджень робочих характеристик датчика тиску на основі систем Fe/Cr та Cu/Cr, а також аналіз процесів дифузії і фазоутворення на межі поділу шарів і проблему стабільності інтерфейсів.
|
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2010-12-28T07:21:21Z
2010-12-28T07:21:21Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Пазуха, І. М. Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe [Текст] / І. М. Пазуха, І. Ю. Проценко // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №2. — С. 111-117.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797 |
|
| Language |
uk
|
|