Магнетронні розпилювальні системи
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Магнетронні розпилювальні системи
|
|
| Creator |
Мулін, Д.В.
|
|
| Subject |
магнетронне напилення
нанесення плівок магнетронное напыление нанесение пленок magnetron sputtering pellicle deposition |
|
| Description |
Науковий керівник: Опанасюк Н.М.
|
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-03-23T09:32:28Z
2011-03-23T09:32:28Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Мулін, Д.В. Магнетронні розпилювальні системи [Текст] / Д.В. Мулін // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — С. 115.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4346 |
|
| Language |
uk
|
|