Электронно-микроскопические исследования кремния, имплантированного мышьяком
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Электронно-микроскопические исследования кремния, имплантированного мышьяком
|
|
| Creator |
Кульментьєва, Ольга Петрівна
Кульментьева, Ольга Петровна Kulmentieva, Olha Petrivna Клименко, П.М. |
|
| Subject |
ионная имплантация
исследование кремния іонна імплантація дослідження кремнію ion implantation research silicon |
|
| Publisher |
Издательство СумГУ
|
|
| Date |
2011-03-23T13:39:04Z
2011-03-23T13:39:04Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Электронно-микроскопические исследования кремния, имплантированного мышьяком [Текст] / П.М. Клименко, О.П. Кульментьева // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — C. 121.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4400 |
|
| Language |
ru
|
|