Влияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических систем
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Невлюдов, И. Ш.
Палагин, В. А. Богдан, Ю. И. |
|
| Date |
2014-12-09T12:38:35Z
2014-12-09T12:38:35Z 2014 |
|
| Identifier |
Невлюдов, И. Ш. Влияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических систем / И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, Ю. И. Богдан // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 748-749.
http://hdl.handle.net/123456789/1703 |
|
| Description |
Теории подобия и размерностей физических величин (ТП и РФВ) содержат основные принципы для оценки изменения свойств МЭМС при уменьшении линейных размеров. Различные активные силы меняются по разным зако- нам, эти силы перечислены. ТП и РФА могут использоваться для анализа и оценки изменения характеристик МЭМС. В докладе показаны некоторые основные тенденции микроминиатюризации. Similitude and dimension physical quantities theories (TS and DPQ) are basic principles for estimation of changing properties of MEMS with decreasing a linear scale. Different active forces changes with distinguish laws and these forces are enumerated. TS and DPQ can be used for analysis and estimation changing characteristics of MEMS. In the report some principle tendencies of miniaturization are shown. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Вебер
|
|
| Subject |
микроэлектромеханические системы
микросистемная техника |
|
| Title |
Влияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических систем
|
|
| Type |
Article
|
|