Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Гордиенко, Ю. Е.
Слипченко, Н. И. Полетаев, Д. А. Проказа, А. М. Пятайкина, М. И. |
|
| Date |
2014-12-09T13:11:22Z
2014-12-09T13:11:22Z 2014 |
|
| Identifier |
Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 763-764.
http://hdl.handle.net/123456789/1705 |
|
| Description |
В работе исследуются особенности нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предложен вариант такого модификатора на основе ко- нусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно- временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. The present paper concerns heating, annealing and redoping of semiconductor layered structures using a microwave radiator with a micron-sized aperture. We proposed a variant of such a modifier that is based on a conical coaxial waveguide. The study is focused on localization of heat and specific spatiotemporal distribution of temperature depending on the electrical and thermal parameters of the objects under study. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Вебер
|
|
| Subject |
СВЧ модификаторы
полупроводниковых тонкопленочных структур сканирующие зондовые технологии |
|
| Title |
Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур
|
|
| Type |
Article
|
|