Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Гордиенко, Ю. Е.
Ларкин, С. Ю. Слипченко, Н. И. Щербак, Е. Л. |
|
| Date |
2014-12-09T13:41:01Z
2014-12-09T13:41:01Z 2014 |
|
| Identifier |
Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 773-774.
http://hdl.handle.net/123456789/1707 |
|
| Description |
Теоретически исследованы особенности пространственно-временного установления температуры при высоколокальном СВЧ разогреве полупроводникового объекта с помощью ближнеполевого микромодификатора. Предложен метод, который частично снимает проблему удержания заданной температуры и локальности путем применения комбиниро- ванного импульсного питания СВЧ микромодификатора. The present paper concerns theoretically investigated features of spatiotemporal establishment of the temperature at the local high microwave heating of semiconductor object using a near-field micromodifier. We propose a method that partially allows withdrawing a problem of the required temperature and locality retention through by means of the combined pulsed microwave power supply of the micromodifier. |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Вебер
|
|
| Subject |
СВЧ микромодификатор
комбинированное импульсное питание сканирующая микроволновая микроскопия |
|
| Title |
Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях
|
|
| Type |
Article
|
|