Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Лукин, К. А.
Мачехин, Ю. П. Данаилов, М. Б. Татьянко, Д. Н. |
|
| Date |
2014-12-25T10:37:14Z
2014-12-25T10:37:14Z 2010 |
|
| Identifier |
Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне / К. А. Лукин и другие // Функциональная компонентная база микро-, опто- и наноэлектроники : сб. науч. тр. ІІІ Междунар. науч. конф., 28 сент. – 2 окт. 2010 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2010. – С. 72-75.
http://hdl.handle.net/123456789/1766 |
|
| Description |
The paper presents results of the optical interferometry investigations with use of low-coherent optical sources beyond their coherence zone. It is shown that when the path difference of arms in Michelson interferometer exceeds the coherence length of light-emitting diode radiation, the interference pattern in spectral domain enables to perform absolute measurements of micro and nano distances due to its dependence on both time delay and relative phase of the signals.
|
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|
| Subject |
интерферометрические измерения
метод спектральной интерферометрии |
|
| Title |
Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне
|
|
| Type |
Article
|
|