Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Creator |
Хорошайло, Ю. Є.
Світличний, В. А. Міняйло, О. Д. Лямін, Є. О. |
|
| Date |
2014-12-25T13:05:58Z
2014-12-25T13:05:58Z 2014 |
|
| Identifier |
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок : пат. на корисну модель 93969 Україна / Хорошайло Ю. Є., Світличний В. А., Міняйло О. Д., Лямін Є. О. ; ХНУРЕ. – 2014
http://hdl.handle.net/123456789/1774 |
|
| Description |
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону. Визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір відповідає лінії тангенціального або нульового тангенціального струму, як реєстровану величину використовують потужність, що пройшла через резонатор.
|
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
ХНУРЕ
|
|
| Subject |
контроль якості тонких плівок
електромагнітне випромінювання НВЧ діапазону |
|
| Title |
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок
|
|
| Type |
Other
|
|