Масс-спектрометрия нейтральных частиц, распыленных ионами с энергией до 170 кэВ
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Масс-спектрометрия нейтральных частиц, распыленных ионами с энергией до 170 кэВ
|
|
| Creator |
Єремін, Сергій Олександрович
Еремин, Сергей Александрович Yeremіn, Serhіi Oleksandrovych |
|
| Subject |
мас-спектрометрія
мас-спектрометрия |
|
| Description |
Проблемы эмиссии атомов и молекул из мишеней под действием ионной бомбардировки привлекают внимание большого числа исследователей. Это связано как с физическим интересом к самому процессу, так и с огромным количеством известных прикладных задач [1-6]. Некоторые из этих задач требуют сепарации по массам продуктов ионного распыления. К их числу можно отнести, например, исследование эмиссии кластеров и молекулярных соединений. Так, в кластерных источниках распылительного типа желательно использовать такие параметры пучка первичных ионов, при которых относительная доля кластеров в потоке распыленных частиц максимальна. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15880 |
|
| Publisher |
НАН Укр. Ин-т прикладной физики
|
|
| Date |
2011-08-09T08:57:08Z
2011-08-09T08:57:08Z 2010 |
|
| Type |
Thesis
|
|
| Identifier |
Еремин, С.А.
Масс-спектрометрия нейтральных частиц, распыленных ионами с энергией до 170 кэВ [Текст] : Диссертация на соискание научной степени кандидата физико-математических наук / С.А. Еремин. - Сумы : НАН Укр. Ин-т прикладной физики, 2010. - 153 с.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15880 |
|
| Language |
ru
|
|