Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску
|
|
| Creator |
Новосядлий, С.
|
|
| Description |
Для зниження дефектності функціональних шарів структур ВІС розроблена силанова технологія низькотемпературного осадження плівок в реакторах зниженого тиску типу “Ізотрон-3”. Досліджено умови формування легованих плівок полікремнію, нітриду (оксинітриду) кремнію, фосфоро- та борофосфоросилікатного скла і дисиліцидних плівок титана на основі аморфного кремнію, які забезпечують як низьку дефектність, так і високу швидкість росту.
|
|
| Date |
2017-04-10T11:47:37Z
2017-04-10T11:47:37Z 2000 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Новосядлий С. Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску / С. Новосядлий // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 398 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – C. 35–441. – Бібліографія: 7 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/37246 |
|
| Language |
ua
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
|
|