Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне
|
|
| Creator |
Лукин, К. А.
Мачехин, Ю. П. Данаилов, М. Б. Татьянко, Д. Н. |
|
| Subject |
стабильность частоты
лазер |
|
| Description |
В работе приведена теоретическая модель спектральной интерференции в оптическом диапазоне и выполнена ее экспериментальной проверка. Показано, что в результате спектральной интерференции опорного и отраженного сигналов светодиода в интерферометре Майкельсона появляется периодическая модуляция его спектра. Изучены возможности применения этого эффекта для измерения микро расстояний с погрешностью не хуже 100 нм. Измерение положений экстремумов спектра позволит повысить точность измерения до значений, определяемых разрешающей способностью современных спектрометров.
|
|
| Date |
2019-05-15T19:35:18Z
2019-05-15T19:35:18Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне / К. А. Лукин, Ю. П. Мачехин, М. Б. Данаилов, Д. Н. Татьянко. // Радиофика и электроника. – 2011. – №1. – С. 39–42.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/8673 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Радиофика и электроника, Харьков
|
|